六氟化硫气体检测仪基于红外吸收光谱原理的红外分光光度法来对SF6气体进行分析检测，利用物质对红外电磁辐射的选择吸收特性，来对物质进行定性定量分析，因为光辐射在气体中传播时气体分子会对光辐射检测吸收，散射而衰减，因此利用气体在某一特定区域波段的吸收特性可以实现对该气体检测。该仪器具有灵敏度高、稳定性好、响应速度快、操作简便、移动范围大、可迅速、准确地定性和定量检测SF6断路器和GIS的泄漏点和年泄漏率。
 

　　六氟化硫气体检测仪进行检测的方式主要有以下几种：
 

　　压降检测方式：在密封的工件内中充入一定压力的气体，经过一段时间保压(2-5秒)，检测压力是否下降，观察计算压力变化来判断产品是否有泄漏(全过程5-25秒)。此方法气密性检测仪配套工装夹具通用性*，可以适用于半密封产品和全密封产品。还可以在半密封的工件内部抽气成负压来检测产品时候有泄漏。压降方式效率高、通用性强、检出率高、无损检测。其中多通道气密性检测仪可以一次同时检测多个产品，这是目前主流的气密性检测仪检测方式。
 

　　差压气密性检测方式：也叫比较法，需要一个标准无泄漏的产品。原理在密闭的待测品内通入一定压力的气体，同时在一个标准品内通入同样压力的气体，静止一段时间，观察标准罐体内的压力与工件内的压力差从而判定产品是否泄漏。此气密性检测仪检测方式检测精度高，但是通用性不强，需要两个工装，检测成本与压降型相对高一倍，因此市场上主流的气密性检测仪检测方式是压降型，并集成了正负压检测能力的气密性测试仪得到了广泛应用及发展。
 

　　气泡检测方式：在密封的产品内部注入一定压力的气体，然后将产品侵入水或者其他液体中，观察是否有气泡漏出，或者在产品表面涂抹泡沫液或者肥皂水看是否有气泡产生。